內(nèi)齒量?jī)x采用了球形測(cè)頭，替代了傳統(tǒng)的量棒測(cè)量方式，從而提高了測(cè)量的精度，便捷性和穩(wěn)定性，同時(shí)還能測(cè)出內(nèi)孔的形狀誤差，如錐度，橢圓度等，為了滿足齒輪不同模數(shù)的變化，該測(cè)量?jī)x的測(cè)球也是可以方便更換，從而大大的提高了測(cè)量?jī)x的適用性，該測(cè)量?jī)x適用于測(cè)量奇數(shù)齒輪和測(cè)量偶數(shù)齒輪。
一、CNC測(cè)量
這類內(nèi)齒量?jī)x實(shí)質(zhì)上是含有一個(gè)回轉(zhuǎn)角坐標(biāo)的四坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，主要用于齒輪單項(xiàng)幾何精度的檢測(cè)，也可用于（靜態(tài)）齒輪整體誤差的測(cè)量。
工作方式是通過接口或網(wǎng)絡(luò)的信息集成，將測(cè)量機(jī)、錐齒輪設(shè)計(jì)及錐齒輪加工機(jī)床連接一起，構(gòu)建成錐齒輪閉環(huán)制造系統(tǒng)，還能用于反求工程對(duì)工件參數(shù)進(jìn)行測(cè)定。
二、齒輪單面嚙合滾動(dòng)點(diǎn)掃描測(cè)量?jī)x
這類儀器通常采用高精度圓光柵作為角度傳感器，測(cè)量基本單元是齒輪上特制的測(cè)量棱線，分別為齒廓測(cè)量棱線和齒向（螺旋線）測(cè)量棱線。測(cè)量重復(fù)性可達(dá)1至2um，可測(cè)量錐齒輪的齒形、齒向、齒距偏差，齒面形貌偏差，切向綜合偏差以及接觸區(qū)。
三、激光齒輪測(cè)量?jī)x
這類內(nèi)齒量?jī)x通常采用高精度氣浮主軸，氣浮導(dǎo)軌，還采用激光測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)進(jìn)行齒面精度檢測(cè)。這類儀器的測(cè)量精度和重復(fù)精度一般標(biāo)稱是0.2至0.3um。由于采用激光非接觸測(cè)量方式，儀器可以測(cè)量齒面上非漸開線齒根部分幾何形狀，一般配置的軟件可以模擬求得被測(cè)齒輪與其配對(duì)齒輪嚙合時(shí)的傳動(dòng)誤差并進(jìn)行分析，所測(cè)數(shù)據(jù)和分析數(shù)據(jù)還可通過LAN共享。
